1、前言

        在半導行業科技和融合電源線路工藝流程中，原料、晶圓、電子元件的測評是必切不可少的要素。時間推移半導行業科技測評科技的經濟發展，自然數源表SMU相結合電極臺的軟件系統結構早就被密切運用于原料/小元件的電學性質確認中。自然數源表SMU必備條件源測工作，應該生產感應電流-電壓電流(I-V)性質曲線方程，是半導行業科技原料、元件電耐磨性定量分析估測的層面；電極臺有手動擋、自動化式的和全自動化的以下幾種，據測評要求抉擇設備配套的服務能夠。在常用時要求需注意電極的所選材質各類針尖的尺寸與樣子，電極所選材質區別，其阻抗匹配是不相當；因此，電極尖損耗和破壞也會對測評的結果會導致決定。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT接連表示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢驗探針臺與源表的進行相連方式典型有不同，一項運行同基準面進行相連方式，另個項運行三同基準面進行相連方式。當衡量小功率(nA、pA)時，應運行三同軸接轉模快和三同基準面纜。在連接源表保護措施好低端檢驗電路系統中，仍然三同軸的保護措施好層與內芯當中是等電勢，不都會有漏功率產生，也可以的提升小功率檢驗導致精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣性；3內攔截層；4里頭層；5外攔截層；6外護線套）

圖：三同水平線纜等效電路系統圖

  上圖如圖為三同軸網纜等效電線圖，輸出高檔次HI和Guard互相的電極電位差可以說為0，因此解除線材企業自身的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S款型交流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸接觸器與平凡兩芯接觸器有著各個，可互相接駁數據信息、一定接地和屏幕層，屏幕特效好。和多芯電纜相較于，三同軸電纜型式簡便，能信高朝；和兩芯同軸電纜相較于，極具高些的屏幕特點和小數據信息的網絡傳輸性能。三同軸電纜的接觸辦法使用的了GUARD數據信息，有著了屏幕的作用，更有益于小數據信息的檢測。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

在使用杜邦線轉BNC母頭參與無線連接；

- 三同軸連接 -

應用三同軸電話轉接模快參與進行連接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

同時運行三同水平線采取接入；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將高級的三同軸拆卸為高電壓專屬三同軸網；壓力三同軸金屬接線頭的擊穿電壓試驗效果較為強烈，普賽斯施用的壓力三同軸金屬接線頭行擊穿電壓試驗3500V。

圖：左-高壓低壓三同軸、右-常規三同軸

HCPL 100大電流源表

大交流電測量時，單根檢測器準許的交流電有局限，交流電過大概率會產生燒針干涉現象，導致測驗但是，以至于必須要利用多檢測器串連。

圖：多檢測器并接舉手

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面探針聯系示意圖

圖：異面金屬電極鏈接關心

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。