1、MPD晶圓測試
測試設備:脈沖造成的源表P300+檢測器臺
異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流
異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定 優化措施:將屏蔽層接地 2、三極管測試 測試設備:2臺電流源表S300+檢測器臺 異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V 失常原因:探頭臺就沒有接地保護,探頭臺結構類型上會出現不銹鋼,在通電的的生態中會會出現除靜電,若想對檢測結果造成直接影響 優化調整舉措:將檢測器臺使用電纜連通天地 3、芯片測試 測試設備:電流源表S300+檢測器臺 異常現象:源表未輸入輸出,檢測器冒愛情火花
圖:系統異常測式-測試探針冒火苗
異常原因:三同定位軸線纜GUARD移動走勢傾斜。GUARD移動走勢如相連正常,其電勢與移動走勢層常規相符,之所以漏電尚小,進而對移動走勢促使一個多定的保護區的功效;可GUARD移動走勢傾斜,其與移動走勢層的電勢差更大,這個漏電更大,對移動走勢的危害極大 優化措施:將GUARD警報連結源表,使GUARD警報帶來保護的功效
4、PD測試
測試設備:直流源表S300+探針臺
異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V
圖:失敗測試圖片成果
異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地 優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地 圖:優化網絡后檢查后果